钛硅靶 钛硅合金靶 真空溅射钛硅靶 钛硅合金靶
时间:2020-04-08来源:未知 作者:admin 点击:
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钛硅靶
产品详情
（1）产品特点：产品具有纯度高的特点。
（2）产品应用：各种靶材
（3）常用规格粒度：如下图或根据客户需求生产。
（4）化学成份以及物理指标（如下图）
（5）产品执行标准：
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产品名称
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成份（at%)
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纯度
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晶粒尺寸
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密度
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制造方法
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平面靶
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TiSi
85/15 80/20 75/25
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99.8%
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<120µm
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99.8%
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HIp
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旋转靶
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TiSi
85/15 80/20 75/25
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99.8%
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<120µm
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99.8%
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HIP
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规格/尺寸
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Φ160*12 Φ128*15 Φ105*16 Φ100*32 Φ64*32 741*191*18 1040*191*18 1701*132*12 矩形靶材最长可达1800mm，圆形靶材直径可达350mm
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(责任编辑：xrypowder) |
